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一种重掺半导体硅单晶体内碳含量简易测试方法

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发布时间: 2024-10-29 10:21:13 剩余时间: 364天

需求编号: 6036102338135040

发布者: 扬州博士创新技术转移有限公司

需求状态: 待解决

意向投入: 面议

联系方式: 0514-xxxx3909 【点击查看】

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重掺半导体硅单晶体内碳含量简易测试方法
针对轻掺半导体硅单晶，体内碳含量可以通过FTIR的方方式进行测试，但是针对重掺半导体硅单晶，由于掺杂杂质的影响，无法通过FTIR的方式进行测试，比较难获得体内碳含量的数据
目前了解，只能通过SIMS进行测试，设备价格太过昂贵，且测试效率低，对于产业化使用有一定局限性
重掺（硼、磷、砷、锑）单晶硅晶体中碳含量的简易测试方式，成本较低，适合量产监控之方法。
要求测试精度达0.01ppma

技术领域	新材料	需求类型	关键技术研发	有效期至	2025-10-30
合作方式	合作开发	需求来源		所在地区